至少在他们研究所里面是分别有两个实验室在研究这个的,而现在他们两个实验室都在进行这方面的相关测试。
这一台光刻机并不是完全重新生产的,而是江栖野昨天在叶声华实验室看到的那一台,他们设计生产出来的实验性质的光刻机更换部分关键零部件,以及按照江栖野给出的资料修改了操控系统而改造来的
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