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大国芯工- 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机(1/1)

文/推土机FFX
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“岸然,这事我必须当面和你说清楚,这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样?”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”

“张教授,你倒是说啊!”

张大京嘴角

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