“你们有没有想过是热敏电阻元器件的问题？”杨杰开口说道：“刚才何总说是温度升高后精度下降，有很大的原因是跟光刻机缺少高精度的温度测量和控制温度的稳定的系统，想必是热敏电阻在温度升高后出现了恒流源不稳定、电压偏移的情况，造成了精度下降。”
何玉光眼中顿时闪过亮光：“对呀，我怎么没想到？！”
杨杰笑了笑：“我也是提供了一个解决问题的方向，何总回去后让提供热敏电阻的国内厂商让他们生产抗干扰能力和性能稳定的热敏电阻，并让他们提供高精度的温度测量系统，选用合理的数学模型跟热值处理方法。”
杨杰也不会越俎代庖，他知道这两位都是各自领域的专家，有些技术只是提供一个想法他们就茅塞顿开了，剩下的东西只是一个不停验证不停改进的过程，并不需要他太过操心。
不过让他感到惊喜的是在机床研究所的帮助下，刻蚀机设备的进展非常大。
这也难怪，刻蚀机的难度比起光刻机的难度还是要小一些的。
因为席海清在射频电源上有着极深的造诣，这几年在射频电源自动匹配器的算法上有了很大的突破，而且龙芯半导体公司两年多之前从清华大学得到cmos图像传感器后也是组织了技术团队在这上面进行技术攻关，并且通过日本的研发中心找到了这方面的专家加入了团队，图像传感器技术上也是取得了不小的突破，刻蚀机上面就搭载了高分辨率的传感器，极大地提高了刻蚀机的精度。
杨杰也是好生地勉励了这两位专家跟技术团队一番。
“虽然光刻机跟刻蚀机这些设备全世界的份额不是很大，但是却是重中之重，为了激励大家努力工作，总公司这边会考虑在国内能够提供绝大部分的配件后将瑞星科技公司独立出去，到时候再给大家分配股权。”杨杰说道。
杨杰这几年往瑞星科技公司里面一直在砸钱搞研发，至少砸进去了几十亿，现在研发人员已经增加到了接近两千名，现在的瑞星科技公司其实一直都在亏损状态，上次拆分的时候他就没有让瑞星科技公司成为子公司。
他要等到瑞星科技公司熬到国内的配套产业链起来后才会让瑞星开始杀入到国际市场上去，虽然这段时间可能长达六七年，这中间也许还要砸进去两百亿都不止，但是现在的华兴科技集团还是能支撑得住的。
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